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激光鉆孔

時間:2021-03-29   訪問量:3905

為了減少金屬電極遮蔭面積,MWT工藝把晶圓正面的電極通過均勻分布的許多通孔引導(dǎo)到晶圓的背面,從而提高了晶圓接受陽光的有效面積和電池片的效率。晶硅電池片厚度小于200um,激光鉆孔速度快,精度高,可以精確控制孔的直徑和內(nèi)壁的坡度,適用于MWT工藝。

工藝特征

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